在真空系统中，橡胶作为密封材料应用最为普遍，主要是因为它具有高弹性，较高的耐磨性和适宜的机械强度，并且具有在常温下密封可靠，可反复拆卸安装，易于加工，价格低廉等优点。

缺点是不能承受高温和低温的环境，与金属密封材料相比有较大的出气率和净透率，通常只能用于低真空和高真空系统中。

用于真空密封的橡胶材料，要求具有光滑表面，无划伤、无裂纹、具有低的出气率、挥发率和透气率，良好的耐热性、耐油性、抗老化能力，耐压缩变形（其值小于35％），和适宜的压力松弛系数（不小于0.65）。常用于真空密封的橡胶材料有下列几种：

❶ 天然橡胶。天然橡胶透气率很大，耐油性、抗老化性较差，使用温度在100℃以下，只用于粗真空和低真空密封。

❷ 丁基橡胶。丁基橡胶的透气率很小，可用于10^-5 Pa 的真空密封。在超高真空环境下材料出现升华现象，其质量损失可达300％，因此不适于10^-6 Pa 以上的超高真空。

❸ 丁腈橡胶。丁腈橡胶是耐油性和其他各种性能都较好的一种橡胶，在高真空范围内广泛用于烘烤温度150℃以下的各类真空密封。

丁腈橡胶是耐油合成橡胶，有100多个牌号，品种主要是低温聚合丁腈橡胶、易加工的软橡胶及改性丁腈胶。丁腈18-26-40是按丙烯腈含量多少而分，丙烯腈含量越高，耐油性、耐水性越好；含量越低，耐寒性越好，弹性也随之增加。

丁腈橡胶具有优异的耐油性、耐水性、耐热性和较低的透气性，压缩**变形小，使用寿命长、价格便宜，在高真空范围内广泛用于烘烤温度在150℃以下的各类真空密封中。

❹ 氟橡胶。氟橡胶是一种耐高温、耐各种介质的密封材料。各种气体在维通（Viton)型氟橡胶中有较小的扩散速度和较大的溶解度，透气性很小，与丁基橡胶相当，在高温、真空中出气率很低（在2.6×10^-7 Pa 的失重为2.3％），可用于10^-5   \sim10^-7 Pa 的真空密封；采用双O形圈密封结构，烘烤到200℃，并加上冷却措施，可达到10^-8 Pa 的超高真空。缺点是价格昂贵，通常只限于需要烘烤的高真空及超高真空系统中。

❺ 全氟醚橡胶。全氟醚橡胶简称FFKM是一种高性能的密封材料，具有优异的耐化学性、耐高温性和机械性能。全氟醚橡胶的应用领域非常广泛，主要包括航空航天、国防军工、汽车工业、石油工业、精细化工和医药行业、半导体工业、新能源汽车和氢能储存等。全氟醚橡胶凭借其优异的耐化学性、耐高温性和机械性能，在多个高要求的工业领域中发挥着重要作用。